基于高速红外光谱仪和白光干涉解调的高精度绝对位置测量系统,使用1550nm SLED光源,单根单模光纤传输。
测量重复频率可达15kHz,测量精度可达pm量级,测量范围可达mm量级。由于测量原理基于光谱调制解调,因此测量结果不受反射面反射率变化影响,且每次测量均为独立绝对值测量,因此可适用于温度、压力、位移等绝对值传感器。
图 1. 高速绝高精度对位置测量系统与高速红外光谱仪模块
配套的光纤传感器基于F-P原理,可根据测量需求设计成多种形态,实现包含直流绝对值和高至KHz级别的动态信号测量。
图 4. 光纤倾斜角传感器
性能参数:
动态测量,可实现振动/倾斜角双参量同时测量,倾角传感器分辨率0.01”,测量范围:±0.25°。
图 5. 光纤温度/压力传感器
性能参数:
全光纤探头,高速时间响应(ms级),量程0-70MPa、0-30Mpa和0-1MPa。传感器的测量分辨率优于0.02%(F.S.),精度优于0.1% (F.S.)。